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乙烯、乙炔和丙烯三種氣體在950°熱解時，熱解炭化學氣相沉積的速率隨著氣體濃度的變化關系。當氣體濃度較小時，熱解炭沉積速率與乙炔、丙烯的濃度成2次方關系，與乙烯的濃度成3次方關系。隨著濃度的升高，熱解炭的沉積速率服從飽和吸附生長模式。因此，在低濃度的條件下，化學氣相沉積實際上均為活性位吸附-飽和吸附生長過程。當乙烯等氣體濃度繼續升高，熱解炭的沉積速率又呈線性增加，為稠環芳香烴的凝聚-形核生長。在900度，氣體停留時間1s時，碳元素在各組分中的分布見圖9.氣相中除了未分解的原料氣外，碳元素大部分轉移到苯和稠環芳香烴系的化合物中，固體碳所占比例很小，通過氣相色譜儀檢測到的主要氣相組成見表2.5，稠環芳香烴化合物的最大分子量限小暈苯。因此，即使對于乙烯、乙炔、丙烯這些高成碳速率的烴類氣體，熱解炭的化學氣相沉積也僅是熱解反應的副反應過程。